金属材料离子源辅助磁控溅射镀膜机
· 2022-11-30
| 金属材料离子源辅助磁控溅射镀膜机 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 金属材料离子源辅助磁控溅射镀膜机 |
| 预算金额： | 320.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 拟采购金属材料离子源辅助磁控溅射镀膜机一台，主要技术参数：真空室腔壁及真空室门配备水冷；真空室长度不小于600mm，进深不小于600mm，高度不小于500mm；真空系统极限真空度不高于3×10^(-7)Torr，大气环境抽至5×10^(-6)Torr时间少于45分钟； 真空测量配有专用真空计；可以实现自动送样、取样；气路控制精度优于最大量程的±2%；加热控制温度精度优于±3℃； 镀膜膜厚均匀性在8英寸工件内优于±3%；镀膜厚度重复性优于±3%； |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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