金属材料反应离子刻蚀机rie
· 2022-11-30
| 金属材料反应离子刻蚀机RIE | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 金属材料反应离子刻蚀机RIE |
| 预算金额： | 350.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 拟采购金属材料反应离子刻蚀机RIE1台，技术参数需求：反应腔室：反应腔内径≥ 290mm；本底真空≤ 1 × 10-5 mbar；真空漏率≤ 2 x 10-4 mbar·l/s；样品直径最大为8英寸；射频发生器频率13.56MHz，功率≥ 600W |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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