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触摸屏及plc控制系统,无油气泵,冷水机,膜厚探头,带气动小挡板及防污罩的有机蒸发源,带气动小挡板的水冷金属蒸发源,双控(温度及膜厚控制仪速率控制)1控2加1控1金属蒸发源控制电源

· 2022-10-19
申购单号: CB102932022000086 签约时间: None
申购主题: 触摸屏及PLC控制系统,无油气泵,冷水机,膜厚探头,带气动小挡板及防污罩的有机蒸发源,带气动小挡板的水冷金属蒸发源,双控(温度及膜厚控制仪速率控制)1控2加1控1金属蒸发源控制电源 送货时间: 合同签订后7天内送达
采购单位: 南京邮电大学 安装要求: 免费上门安装(含材料费)
报价要求: 收货地址: ******
发票类型: 币种: 人民币
预算: None 付款方式: 货到验收合格后付款
备注说明: 须一家供应商同时供货且同时满足以下要求:1. 触摸屏及PLC控制系统:10寸触摸屏,欧姆龙PLC;2.无油气泵:恒流电源为1控2加1控1方式,分别控制3个挂丝式金属蒸发源(数字表电流显示,8 V/200 A)。电流控制蒸发及膜厚仪速率控制蒸发,电流控制精度误差小于5%;3. 带气动小挡板及防污罩的有机蒸发源:有机竖丝式蒸发源,(加热丝材料为高纯钽丝,支承架为陶瓷材料)每个带可拆卸隔热防污罩和气动挡板的第三代有机坩埚蒸发源(可蒸镀NPB,Alq3,LiF等有机材料),该蒸发源加热温度均匀,寿命长达1000小时以上,温度可到达800℃,保温和控温性能优越,多源间没有温度及蒸镀材料串扰(蒸镀速率稳定)。(小挡板及屏蔽罩为钛金属材料)4.膜厚探头 5.带气动小挡板的水冷金属蒸发源:带水冷的可蒸镀Ag,Al等金属材料金属蒸发源(恒流源)可用钨舟,可挂丝。每套都有独立的可拆卸隔热防污罩、接料盒和气动小挡板。功率1600W:(小挡板、接料盒及屏蔽罩为钛材料)6.双控(温度及膜厚控制仪速率控制)1控2加1控1金属蒸发源控制电源:恒流电源为1控2加1控1方式,分别控制3个挂丝式金属蒸发源(数字表电流显示,8 V/200 A)。电流控制蒸发及膜厚仪速率控制蒸发,电流控制精度误差小于5%

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