离子注入机
· 2022-10-18
| 离子注入机 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 离子注入机 |
| 预算金额： | 2800.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 拟采购离子注入机一套，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还用于金属材料表面改性和制膜等，支持8英寸及以下尺寸晶圆，能量范围：2.0keV-900keV，剂量范围：1E11~1E16ions/cm2。质保期至少1年。售后服务响应不超过24小时（不区分工作日和节假日） |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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