聚焦离子束双束电镜
· 2022-10-17
| 聚焦离子束双束电镜 | |
| 项目所在采购意向： | 北京理工大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京理工大学 |
| 采购项目名称： | 聚焦离子束双束电镜 |
| 预算金额： | 962.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100305电子光学及离子光学仪器 |
| 采购需求概况： | 聚焦离子束双束电镜设备可实现材料样品的微/纳米尺度的刻蚀与加工，为高精度、高质量材料样品制备提供研究微纳加工表征一体化平台，可用于材料微/纳米尺度的高精度刻蚀与加工、制备S/TEM、APT样品及、材料剖面分析和三维微观组织分析等研究应用，支撑我校光电材料、金属材料、新能源材料、集成电路制造与电子封装等相关学科方向发展。主要性能指标应满足下列要求：1. 离子束分辨率：2.5nm @ 30keV;2. 离子束流：1 pA – 100 nA;3. 电子束分辨率：1.5 nm @ 1 keV; 0.9nm @ 15keV;4. 电子束流：2 pA - 400 nA5. 集成半自动TEM 样品和横截面制备模块6. 集成电镜专用原位纳米压痕仪7. 集成EBSD/TKD/EDX探头8. 适用于磁性材料样品表征与制备 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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