电子与信息工程学院铝刻蚀机采购项目
· 2022-10-13
| 电子与信息工程学院铝刻蚀机采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 电子与信息工程学院铝刻蚀机采购项目 |
| 预算金额： | 800.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 铝刻蚀机， 数量：1套。 该设备用于8吋及以下尺寸晶圆，铝和氮化钛等金属材料干法刻蚀工艺（用途）；技术要求：双腔、刻蚀、去胶一体,该系统主要由金属刻蚀工艺模块、去胶刻蚀工艺模块、晶圆传输模块组成，铝刻蚀速率：> 6000？/min; 氮化钛刻蚀速率：>700A/min；光刻胶刻蚀速率> 2300？/min；选择比铝:光刻胶 ≥2:1铝:氮化硅≥9:1交付时间要求：合同签订后8个月；交付地点要求:中山大学；售后服务要求（含培训）：保期一年，服务相应时间小于2h。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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